Metal Strain Gauge Pressure Sensor Using SiO2/Si3N4 Diaphragm
Autor: | Masahiro Matsumoto, Kazuhiro Ohta, Hiroshi Nakano, Yasuo Onose |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 139:63-68 |
ISSN: | 1347-5525 1341-8939 |
DOI: | 10.1541/ieejsmas.139.63 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |