Enhancing Performance and Function of Polymethacrylate Extreme Ultraviolet Resists Using Area-Selective Deposition
| Autor: | Rachel A. Nye, Kaat Van Dongen, Danilo De Simone, Hironori Oka, Gregory N. Parsons, Annelies Delabie |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Chemistry of Materials. 35:2016-2026 |
| ISSN: | 1520-5002 0897-4756 |
| DOI: | 10.1021/acs.chemmater.2c03404 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|