Plasma ashing in electrostatically shielded chamber for determination of arsenic oxides
Autor: | Keiichiro Hozumi, Yumiko Omura, Kiyoko Murahata, Shinji Chushi, Takako Mano |
---|---|
Rok vydání: | 1987 |
Předmět: | |
Zdroj: | BUNSEKI KAGAKU. 36:874-877 |
ISSN: | 0525-1931 |
DOI: | 10.2116/bunsekikagaku.36.12_874 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |