Corrosive inorganic contamination on wafer surfaces after nickel-iron electroplating Formation Mechanisms and Prevention

Autor: Peter Heinrich Barber, Wolfgang Diel, L. T. Romankiw, P. Kritzer
Rok vydání: 2001
Předmět:
Zdroj: Materials and Corrosion. 52:838-843
ISSN: 1521-4176
0947-5117
DOI: 10.1002/1521-4176(200111)52:11<838::aid-maco838>3.0.co;2-q
Popis: Electroplating of Nickel-Iron alloys is widely used in the production of magnetic heads for storage systems. Usually, the plating process is performed in acidic, salt-containing solutions. After the plating step, a complete removal of the plating salts is necessary to receive a clean surface. In disadvantageous cases, a precipitation of sticky particles is observed that cannot be removed from the plated surface without damaging the surface. Some of these substances (esp. nickel sulfates) might lead to severe local corrosion and thus might act as “time-bomb” in the later product. Non-corrosive precipitations (i.e. nickel hydroxides) strongly hinder or even prevent the following production steps. In the present paper, the mechanisms of the origin of the different kinds of precipitation are described and the principle actions for their prevention are given. An outlook is given for other possible technical applications. Korrosive Anorganische Kontaminationen auf Wafer-Oberflachen nach der galvanischen Abscheidung von Nickel-Eisen-Schichten Bildungsmechanismus und Verhinderung Die galvanische Abscheidung von Nickel-Eisen-Legierungen findet in grosem Mase Einsatz bei der Produktion von Magnetkopfen in der Speichertechnologie. Die Abscheidung erfolgt gewohnlich aus sauren Salzlosungen. Um nach der Abscheidung eine saubere Wafer-Oberflache zu erhalten, ist anschliesend eine vollstandige Entfernung der Losungsbestandteile notwendig. Allerdings werden bei ungunstiger Prozessfuhrung des Reinigungsprozesses stark haftende Niederschlage beobachtet, die nicht von der Oberflache entfernt werden konnen, ohne die Oberflache zu schadigen. Einige dieser Niederschlage (besonders Nickelsulfate) konnen zu starker lokaler Korrosion fuhren und wirken daher als „Zeitbombe” im spateren Produkt. Auch nicht-korrosive Niederschlage wie Nickelhydroxid konnen die nachfolgenden Prozess-Schritte behindern bzw. sogar unmoglich machen. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entstehungsmechanismen der verschiedenen Niederschlage. Daruber hinaus werden die prinzipiellen Moglichkeiten vorgestellt, deren Entstehung zu vermeiden. Ein Ausblick wird gegeben, auf welche anderen technischen Anwendungen diese Ergebnisse projizierbar sein konnten.
Databáze: OpenAIRE
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