Sn distribution in Ge/GeSn heterostructures formed by sputter epitaxy method
Autor: | Takahiro Tsukamoto, Kento Ikeno, Nobumitsu Hirose, Akifumi Kasamatsu, Toshiaki Matsui, Yoshiyuki Suda |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Crystal Growth. 604:127045 |
ISSN: | 0022-0248 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |