Application of SnOx Thin Films Prepared by Microwave Plasma CVD to a NOx Sensor

Autor: Tetsuo Hirono, Yasuaki Okamoto, Toshinobu Imanaka, Hiroyasu Nagase
Rok vydání: 1993
Předmět:
Zdroj: KAGAKU KOGAKU RONBUNSHU. 19:856-862
ISSN: 1349-9203
0386-216X
Popis: NOxは酸性雨の原因の一つであり, その排出量削減のため燃焼機器の改良や, 脱硝触媒の研究が行われている.NOx排出量のモニターや, 燃焼機器のフィードバック制御のため, NOxの濃度を測定する簡便な方法の開発が望まれている.本研究では, テトラメチルスズを原料として, マイクロ波プラズマCVD法により酸化スズ薄膜を調製した.薄膜の抵抗変化を測定することにより, ガス応答を調べた.NO2に対しては抵抗が増加し, 250℃以上で可逆的な応答がみられた.感度・応答速度から判断して, NO2検出の最適動作温度は300℃付近であり, この温度において, 20ppmのNO2に対し抵抗は約10倍に増加し, 応答時間は約60sであった.NOに対する感度はNO2の場合の約1/5で, 水素, 一酸化炭素, 炭化水素などの可燃性ガスに対しては, 非常に低い感度しか示さなかった.NO2に対して高い感度・選択性を持ち, 燃焼排気ガス中のNO2濃度を測定するNOxセンサーとして有望であることがわかった.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: