Autor:	Masato Kuno, Souichi Ogawa, Itsuo Ishigami, Ken-ichi Miura
Rok vydání:	1995
Předmět:	Materials science Ion implantation chemistry Metallurgy chemistry.chemical_element Electrical and Electronic Engineering Nitride Condensed Matter Physics Nitrogen Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	SHINKU. 38:311-314
ISSN:	1880-9413 0559-8516
DOI:	10.3131/jvsj.38.311
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f606210010d50f076016d58f5eeb8c98 https://doi.org/10.3131/jvsj.38.311 Zobrazit plný text záznamu