Substrate Surrounding Type Magnetron Sputtering Equipment Comparison of HiPIMS and DCMS Drive
| Autor: | Kota Suematsu, Hiroyuki Kousaka, Tatsuya Furuki, Tetsuhide Shimizu, Takayuki Ohta, Akinori Oda |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials. 142:101-107 |
| ISSN: | 1347-5533 0385-4205 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|