A semiconductor wafer representation database and its use in the PREDITOR process editor and statistical simulator

Autor:	C. S. Kellen, Andrzej J. Strojwas, D. M. H. Walker
Rok vydání:	1991
Předmět:	Computer science Object-oriented modeling Process (computing) Wafer Solid modeling Permission Representation (mathematics) Simulation
Zdroj:	DAC
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f4d8eaf907d339774b6ac858cda599ee https://doi.org/10.1145/127601.127736 Zobrazit plný text záznamu