Analysis of Heavy-Ion Sputtering Based on the Shock Wave Model

Autor: B. Rauschenbach, K. Hohmuth
Rok vydání: 1983
Předmět:
Zdroj: Physica Status Solidi (a). 79:395-401
ISSN: 1521-396X
0031-8965
DOI: 10.1002/pssa.2210790209
Popis: Experimental investigations show that under heavy ion bombardment the sputtering yield is significantly higher than predicted by linear cascade theory. A shock wave model is applied to explain the sputtering yield on heavy target materials. On this basis, a general sputtering yield formula is obtained. The known experimental data are discussed in relation to this model. Experimentelle Untersuchungen zeigen, das die Zerstaubungsrate nach Beschus mit schweren Ionen bedeutend hoher ist, als von der linearen Kaskadentheorie vorhergesagt wird. Ein Schockwellen-Modell wird angewandt, um die Zerstaubungsrate an schweren Targetmaterialien zu erklaren. Auf dieser Grundlage wird eine allgemeine Formel fur die Zerstaubungsrate abgeleitet. Die bekannten experimentellen Ergebnisse werden in Beziehung zu diesem Modell diskutiert.
Databáze: OpenAIRE
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