The use of Nanocomposite Materials for High Refractive Index Immersion Lithography
Autor: | Christopher K. Ober, Woo Jin Bae, Dongyan Wang, Micahel F. Zettel, Bryan J. Rice, Emanuel Giannelis, Markos Trikeriotis, Robert Rodriguez, Paul A. Zimmerman, Yi Yi |
---|---|
Rok vydání: | 2008 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 21:621-629 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |