| Autor: |
Tzvetan Ivanov, Bernd Schmidt, D. Filenko, Michael Zier, Nikolaj Nikolov, Teodor Gotszalk, Denis Dontsov, Ivo W. Rangelow, K. Ivanova, Burkhard E. Volland, Arun Persaud, Thomas Sulzback, Y. Sarov |
| Rok vydání: |
2006 |
| Předmět: |
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| Zdroj: |
tm - Technisches Messen. 73:485-492 |
| ISSN: |
0171-8096 |
| DOI: |
10.1524/teme.2006.73.9.485 |
| Popis: |
Der Artikel beschreibt die Realisierung von piezoresistiven Cantilever-Arrays für die Raster-Kraft-Mikroskopie. Sensoren für die Raster-Sonden-Mikroskopie (RSM) sind aus physikalischer Sicht faszinierende Mikrosysteme, da sie durch geeignete Kombination von Physik und Technologie ein neues nanoskopisches Materialverständnis ermöglichen. Die Raster-Sonden-Mikroskopie führt nicht nur zur Eröffnung neuer Horizonte für die Grundlagenforschung, sondern bietet auch die Chance, durch die Entwicklung neuartiger Sensoren und Sensorarrays bisher ungenutzte Wirkmechanismen zu nutzen. Physikalische, biologische und chemische Größen und Wechselwirkungen können auf der Basis von Mikro-Biegebalken (sog. Cantilever) durch die Umwandlung in eine mechanische Reaktion (Verbiegung des Cantilevers) sehr effektiv erfasst und dann wiederum in elektronisch verwertbare Signale umgewandelt werden. In diesem Artikel werden die Grundideen zur Realisierung von selbstoszillierenden piezoresistiven Cantilever-Arrays als System vorgestellt, mit denen Bilder mit hoher Geschwindigkeit aufgenommen werden können. |
| Databáze: |
OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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