Integrating Diffusionless Anneals Into Advanced CMOS Technologies

Autor:	Richard Lindsay, A. Satta, X. Pages, Radu Surdeanu, Kirklen Henson, C.J.J. Dachs, Bartek Pawlak, Anne Lauwers, Simone Severi, S. McCoy, J. Gelpey
Rok vydání:	2004
Předmět:	Materials science CMOS Engineering physics
Zdroj:	Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f3e9274a303ff1e0037120984aedc292 https://doi.org/10.7567/ssdm.2004.b-3-1 Zobrazit plný text záznamu