Fabrication and Evaluation of Suspended Micro-Heater using TiN

Autor: Yoshio Kawamata, Hiroshi Ito, Hiroyuki Nikkuni
Rok vydání: 2020
Předmět:
Zdroj: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 140:209-213
ISSN: 1347-5525
1341-8939
DOI: 10.1541/ieejsmas.140.209
Databáze: OpenAIRE