Fabrication and Evaluation of Suspended Micro-Heater using TiN
Autor: | Yoshio Kawamata, Hiroshi Ito, Hiroyuki Nikkuni |
---|---|
Rok vydání: | 2020 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 140:209-213 |
ISSN: | 1347-5525 1341-8939 |
DOI: | 10.1541/ieejsmas.140.209 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |