Application of Ion Exchange Technology for Ultra Pure Water
| Autor: | Naomichi Yonekawa, Tsunehiro Shimozaki, Shinichi Sezaki, Yoshitaka Yamaki |
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| Rok vydání: | 2005 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Ion Exchange. 16:157-163 |
| ISSN: | 1884-3360 0915-860X |
| Popis: | 半導体製造に不可欠な超純水は近年超高純度な水質が要求されるとともに, その使用量が大量であるため, 環境問題やコストと相まっていろいろな技術が応用駆使されている。その中でも最も重要な要素技術となるのがイオン交換技術と膜技術である。イオン交換技術は水中のイオンを除去するばかりでなく, 副次的な作用として有機物の除去や殺菌作用なども効果がある。さらに特殊な樹脂を使用して溶存酸素除去などにも利用される。今回我々はイオン交換学会で, イオン交換装置を用いた半導体工場スクラバー排水再利用設備について平成16年度技術賞を受賞した。そこで, 半導体製造用超純水装置に使用されるイオン交換技術の応用について簡単に紹介する。 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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