Practical design method of PECVD cavity check-up tool
Autor: | 韩大伟 Han David, 李. 华. Li Hua, 周. 梁. Zhou Liang, 王丹名 Wang Dan-Ming, 陈. 垚. Chen Yao, 孙泉钦 Sun Quan-Qin |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays. 30:813-818 |
ISSN: | 1007-2780 |
DOI: | 10.3788/yjyxs20153005.0813 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |