Evaluation of Dielectric Constant through Direct CMP of Porous Low-k Film
| Autor: | Masako Kodera, Gaku Minamihaba, T. Takahashi |
|---|---|
| Rok vydání: | 2009 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials. |
| DOI: | 10.7567/ssdm.2009.d-9-3 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|