A Contact Stylus Profilometer Based on Linnik Interference Microscope

Autor:	Jian Ping Yun, Ling Ling Zhang, Tie Bang Xie, Guo Yuan Hu
Rok vydání:	2007
DOI:	10.4028/0-87849-458-8.371
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f0d10ec3f995c7c2bd3705da2f745e1a https://doi.org/10.4028/0-87849-458-8.371 Zobrazit plný text záznamu