Expanding the Energy Range from eV to MeV and Fabrication of Sources Enabling Novel Focused Ion Beam Nanofabrication and Modification

Autor: Michael Titze, Aaron Katzenmeyer, Vigneshwaran Chandrasekaran, Anthony Flores, Barney Doyle, Yongqiang Wang, Han Htoon, Edward Bielejec
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Microscopy and Microanalysis. 28:6-8
ISSN: 1435-8115
1431-9276
Databáze: OpenAIRE