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Seit der Entwicklung erster Chemiresistorgassensoren auf Metalloxidbasis wurden Wandler mit neuartigen Eigenschaften durch Nass- und Trockenabscheidung erzeugt. Der Direktaufbau nanostrukturierter Filme aus der Gasphase verspricht dabei eine einfache Herstellung und Steuerbarkeit, und mit geeigneten Synthese- und Abscheidungsmethoden konnen nm- bis μm-dicke Filme hergestellt werden. Dichte Strukturen werden durch chemische oder Dampfabscheidungsverfahren unter kontrollierten Bedingungen erzeugt, Nanopartikelfilme durch Abscheidung mono- oder polydisperser, aggregierter oder agglomerierter Nanopartikel aus einem Gas. Durch schlagartiges Abkuhlen wahrend der Synthese lassen sich neuartige Materialien in Nichtgleichgewichts- oder substochiometrischen Zustanden einfangen. Dieser Aufsatz beschreibt die gangigsten Verfahren fur die Herstellung von Metalloxid-Halbleiterdetektoren fur chemische Gassensoren. Auserdem wird die Synthese hochporoser Filme mit neuentwickelten Aerosoltechniken diskutiert. Die chemischen und Struktureigenschaften werden der erhaltenen Sensorleistung gegenubergestellt. |
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