Moyens de caractérisation des surfaces et leurs applications en métrologie

Autor: Zaccaria Silvestri, Stéphane Mace, Daniel Du Colombier, Patrick Pinot
Rok vydání: 2011
Předmět:
Zdroj: Revue Française de Métrologie. :11-20
ISSN: 1776-3215
1772-1792
DOI: 10.1051/rfm/2010004
Popis: Dans le cadre du projet de recherche portant sur l'analyse de l'activite de surface appliquee aux besoins de la metrologie de caracterisation de surface a l'echelle nanometrique et de la recherche technologique, de nombreuses ameliorations et adaptations ont ete entreprises sur les dispositifs d'analyse de surface du laboratoire. Cet article se propose de presenter un etat des lieux de ces dispositifs en decrivant les principales ameliorations apportees au cours de ces quatre dernieres annees et les resultats experimentaux qui en decoulent.
Databáze: OpenAIRE