Radioactivation Monitoring of the Density of Wear-Resistant AlN and CrN Coatings on Silicon

Autor:	V. A. Ryzhkov, V. A. Tarbokov, E. A. Smolyanskii, G. E. Remnev
Rok vydání:	2021
Předmět:	Physics and Astronomy (miscellaneous)
Zdroj:	Technical Physics Letters. 47:524-527
ISSN:	1090-6533 1063-7850
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eb889cf3d3fd4893c236ceb198d947e3 https://doi.org/10.1134/s106378502105028x Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.