Autor:	Frederic Brault, Philippe Morey-Chaisemartin, Samuel Boret, Benedicte Bry, Ghislaine Castel, Antonio Marques, Julien Rouessard, Christelle Segur
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Photomask Technology 2022.
DOI:	10.1117/12.2641690
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e91b0c738164cc18d2761553a9f9b35c https://doi.org/10.1117/12.2641690 Zobrazit plný text záznamu