Gate electrode work function engineered JAM-GS-GAA FinFET for analog/RF applications: Performance estimation and optimization

Autor: Bhavya Kumar, Megha Sharma, Rishu Chaujar
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Microelectronics Journal. 135:105766
ISSN: 0026-2692
DOI: 10.1016/j.mejo.2023.105766
Databáze: OpenAIRE