Cryogenic implantation to boost PFET performance and reduce variability in 3D NAND flows
Autor: | Jeng-Hwa Liao, Jung-Yu Hsieh, Ling-Wu Yang, Tahone Yang, Kuang-Chao Chen, Baonian Guo, Monica Hsiao, Shiryu Lee, Fenglin Wang, Sungho Jo, Kyuha Shim |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | MRS Advances. 7:1534-1539 |
ISSN: | 2059-8521 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |