Autor:	S. Schippel, A. Witzmann, F. F. Komarov, Peter I. Gaiduk
Rok vydání:	1993
Předmět:	chemistry.chemical_compound Materials science Ion implantation chemistry Mechanics of Materials business.industry Mechanical Engineering Silicide Optoelectronics General Materials Science Condensed Matter Physics business
Zdroj:	Materials Science Forum. :1577-1582
ISSN:	1662-9752
DOI:	10.4028/www.scientific.net/msf.143-147.1577
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e6f380ddbc38f403bbfc6abfdb0ef882 https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.143-147.1577 Zobrazit plný text záznamu