High Reliability Touch-Mode Electrostatic Actuators (TMEA)
Autor: | Eugen I. Cabuz, Cleopatra Cabuz, Roya Maboudian, Thomas R. Ohnstein, J. Neus |
---|---|
Rok vydání: | 1998 |
Předmět: | |
Zdroj: | 1998 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest. |
DOI: | 10.31438/trf.hh1998.68 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |