Fabrication of an Electrostatic Actuated Dielectric Mirror With Free-Standing Layers of Polymer
Autor: | Leda Lunardi, Pedro P. Vergara |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEE Transactions on Electron Devices. 68:6240-6248 |
ISSN: | 1557-9646 0018-9383 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |