Получение DLC-покрытия методами магнетронного распыления и осаждения из плазмы электродугового разряда
| Jazyk: | ruština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: | |
| DOI: | 10.18720/spbpu/2/v16-521 |
| Popis: | Объектом исследования являются покрытия, полученные методами магнетронного и электро-дугового испарения. Цель работы - получение DLC (Diamond like carbon) покрытия методами магнетронного и электро-дугового испарения, изучение свойств полученных покрытий, определение наиболее пригодного метода для получения DLC покрытий, а также анализ поведения параметров разряда во время процесса напыления.В процессе работы проводились эксперименты по напылению в вакуумной установке и анализ полученных покрытий. В результате исследования было выяснено, что магнетронное распыление слабо пригодно для получения DLC покрытия, электро-дуговое испарение, напротив, дало положительный результат и пригодно для получения покрытия. The object of the study are coatings obtained by magnetron and electric arc evaporation.The purpose of work - to obtain DLC (Diamond like carbon) coating by magnetron and electric-arc evaporation, study the properties of the resulting coatings, determine the most suitable method to obtain DLC coatings, as well as an analysis of the discharge parameters during the deposition process.In the process of work was carried out by deposition experiments in the vacuum system and the analysis of the resulting coatings.The study found that magnetron sputtering is weakly suitable to obtain DLC coating, on the contrary, electro-arc evaporation gave positive results and it is suitable to obtain DLC coating. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|