55‐3: Distinguished Paper: Development of G6 Exposure Tool for 1.2 µm Resolution
Autor: | Nobuhiko Yabu, Nozomu Izumi, Miwako Ando, Yoshinori Osaki, Kouhei Nagano, Manabu Hakko |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 50:769-772 |
ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |