2.2.1 Einfluss von DC- und AC-Versorgungsspannungen auf Dünnschicht- Drucksensoren aus ZrO2

Autor:	M. Mathis, G. Schultes, D. Vollberg
Rok vydání:	2019
Zdroj:	Tagungsband.
DOI:	10.5162/sensoren2019/2.2.1
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e432fe3097155a3b57dbd5ff817def31 https://doi.org/10.5162/sensoren2019/2.2.1 Zobrazit plný text záznamu