Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses
Autor: | 黄玮 Huang Wei, 庞武斌 Pang Wu-bin, 王新华 Wang Xin-hua, 徐明飞 Xu Ming-fei, 徐象如 Xu Xiang-ru |
---|---|
Rok vydání: | 2016 |
Předmět: | |
Zdroj: | Optics and Precision Engineering. 24:740-746 |
ISSN: | 1004-924X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |