Структура и морфология пленок β-SiC, синтезированных в атмосфере метана

Rok vydání: 2020
Zdroj: XXVIII Российская конференция по электронной микроскопии и VI школа молодых учёных "Современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов".
DOI: 10.37795/rcem.2020.70.88.050
Databáze: OpenAIRE