Microwave Plasma Etching Treatment for Single Crystal Diamond
Autor: | Xiaotong Han, Yan Peng, Xiwei Wang, Peng Duan, Xiufei Hu, Yiqiu Yang, Bin Li, Xiangang Xu, Xiaobo Hu, Dufu Wang |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Electronic Materials. 51:4995-5004 |
ISSN: | 1543-186X 0361-5235 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |