Plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren eröffnet neue Perspektiven in der Brillen- und Feinoptik

Autor: Alfons Zöller
Rok vydání: 1997
Předmět:
Zdroj: Vakuum in Forschung und Praxis. 9:19-24
ISSN: 1522-2454
0947-076X
DOI: 10.1002/vipr.19970090106
Popis: Ein plasmaunterstutztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dunner Schichten fuhrt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften fuhrt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff-Brillenglasern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualitat des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter fur die Glasfaserubertragungstechnik demonstriert die Leistungsfahigkeit dieser noch relativ neuen Technik. Plasma-ion assisted deposition, a newly developed evaporation technique for the production of optical coatings results, in outstanding film properties even at a low substrate temperature. The results of single layer investigations in comparison with conventional evaporation demonstrate the physical effects that improve the film properties. The combination of hard- and anti reflexion coating in one vacuum process for plastic eye glass lenses reduces the production time drastically while the quality of the finished product is secured. The production of ultra stable interference filters for fiber optic communication applications demonstrates the superior ability of this technology.
Databáze: OpenAIRE
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