Microscopy of epitaxially grown β-SiC on {001} silicon

Autor:	T. T. Cheng, J. A. Powell, Pirouz Pirouz, C. M. Chorey
Rok vydání:	2021
Předmět:	Materials science Silicon chemistry business.industry Microscopy Optoelectronics chemistry.chemical_element business Epitaxy
DOI:	10.1201/9781003069621-29
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e1d9179a92e5b8881431932df98e3a35 https://doi.org/10.1201/9781003069621-29 Zobrazit plný text záznamu