In-situ monitoring of plasma-assisted processing of material using optical emission spectroscopy – Role of ionic lines
| Autor: | Shail Pandey, Vidhi Panchal |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Materials Today: Proceedings. |
| ISSN: | 2214-7853 |
| DOI: | 10.1016/j.matpr.2023.03.392 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect