Design and Analysis of Single Drive Tri-Axis MEMS Gyroscope

Autor:	Pradnya Chabbi, Venkatesh KP Rao, Anant Khedkar
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Microactuators, Microsensors and Micromechanisms ISBN: 9783031203527
DOI:	10.1007/978-3-031-20353-4_13
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e01e773f28d8eabe4fab594d7acb0fc5 https://doi.org/10.1007/978-3-031-20353-4_13 Zobrazit plný text záznamu