Magnetron deposition of a-C:ND coatings by nanodiamond transfer: pulse number impact on aggregation and graphitization

Autor: Oleg A. Streletskiy, Ilya A. Zavidovskiy, Vladimir V. Sychev, Alexander A. Dudin, Sergey A. Savinov, Alexander V. Pavlikov
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: Applied Physics A. 128
ISSN: 1432-0630
0947-8396
DOI: 10.1007/s00339-021-05229-7
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: