Millisecond Flash Lamp Annealing of Ultrashallow Implanted Layers in Ge
| Autor: | Matthias Posselt, Clemens Wündisch, Bernd Schmidt, Thomas Schumann, Arndt Mücklich, Wolfgang Skorupa, Trudo Clarysse, Eddy R. Simoen, Heiko Hortenbach |
|---|---|
| Rok vydání: | 2009 |
| Zdroj: | ECS Meeting Abstracts. :2391-2391 |
| ISSN: | 2151-2043 |
| DOI: | 10.1149/ma2009-02/31/2391 |
| Popis: | not Available. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|