Autor:	Axel Hald
Rok vydání:	2020
Zdroj:	Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen
DOI:	10.51202/9783186473202-138
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dee8bee943d58bc728b67351c19ff484 https://doi.org/10.51202/9783186473202-138 Zobrazit plný text záznamu