Pulsed MOCVD Processes of MgO Layer Deposition from Mg(thd)2

Autor:	Boris M. Kuchumov, Yuriy V. Shevtsov, Pyotr P. Semyannikov, Egor S. Filatov, Igor K. Igumenov
Rok vydání:	2009
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :2608-2608
ISSN:	2151-2043
Popis:	not Available.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::de3793a1c45a9753527fe2be3930619f https://doi.org/10.1149/ma2009-02/34/2608 Zobrazit plný text záznamu