Substrate Positioning Error Analysis and Compensation Method in Holographic Grating Fabrication

Autor: 董宁宁 Dong Ningning, 崔锦江 Cui Jinjiang, 徐建根 Xu Jiangen, 许杰 Xu Jie
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Acta Optica Sinica. 35:s105001
ISSN: 0253-2239
DOI: 10.3788/aos201535.s105001
Databáze: OpenAIRE