Controlled Implantation of Phosphorous Atoms into a Silicon Surface Lattice with a Scanning Tunneling Microscopy Tip
Autor: | Xuefeng Wu, Fangfei Ming, Guowei Liu, Congrun Chen, Kedong Wang, Xiji Shao, Xixian Wang |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | ACS Applied Electronic Materials. 3:3338-3345 |
ISSN: | 2637-6113 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |