(Invited) Wet Etching inside Advanced High Aspect Ratio Structures: Impact of Dissolved Oxygen
| Autor: | Hitoshi Kosugi, Ihsan Simms, Antonio Rotondaro, Derek W. Bassett, Tetsuya Sakazaki, Trace Hurd |
|---|---|
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ECS Transactions. 92:127-135 |
| ISSN: | 1938-5862 1938-6737 |
| DOI: | 10.1149/09202.0127ecst |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|