Autor:	Carl Zeiss SMT AG
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2012
Předmět:	Halbleitertechnologie Mechanical engineering power engineering Lithografie Oberflächentechnik Wärmebehandlung Electrical engineering Extremes Ultraviolett Mikrosystemtechnik Nanotechnologie Maske (Halbleitertechnologie)
DOI:	10.2314/gbv:746620942
Popis:	Ill., graph. Darst.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dce5391671ddfbcaf5f48be10c7f74c4 Zobrazit plný text záznamu