MOLECULAR DYNAMIC MODELING OF THE INITIAL STAGES OF Si(111) SURFACE NITRIDIZATION IN NH₃ ATMOSPHERE

Autor:	I. V. Mutigullin, S. I. Uvarov, K. K. Abgaryan, Yu. G. Evtushenko
Rok vydání:	2015
Předmět:	Atmosphere Surface (mathematics) Molecular dynamics Materials science Chemical engineering General Medicine Nitriding
Zdroj:	Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 18:267-272
ISSN:	2413-6387 1609-3577
DOI:	10.17073/1609-3577-2015-4-267-272
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dc86142c1380ad134cf9790f9335a033 https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-4-267-272 Zobrazit plný text záznamu