OrbiSIMS metrology Part I: Optimisation of the target potential and collision cell pressure

Autor:	Lidija Matjacic, Martin P. Seah, Gustavo F. Trindade, Alexander Pirkl, Rasmus Havelund, Jean‐Luc Vorng, Ewald Niehuis, Ian S. Gilmore
Rok vydání:	2022
Předmět:	Materials Chemistry Surfaces and Interfaces General Chemistry Condensed Matter Physics Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Surface and Interface Analysis. 54:331-340
ISSN:	1096-9918 0142-2421
DOI:	10.1002/sia.7058
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::da02a53e599fe6a6f145694ac5b732b8 https://doi.org/10.1002/sia.7058 Zobrazit plný text záznamu Plný text