A new thin film encapsulant for ion-implanted GaAs

Autor:	B.J. Sealy, R.K. Surridge
Rok vydání:	1975
Předmět:	Materials science business.industry Materials Chemistry Metals and Alloys Optoelectronics Surfaces and Interfaces Thin film business Surfaces Coatings and Films Electronic Optical and Magnetic Materials Ion
Zdroj:	Thin Solid Films. 26:L19-L22
ISSN:	0040-6090
DOI:	10.1016/0040-6090(75)90157-1
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d9fe088f5da8657196a5d0174210efaf https://doi.org/10.1016/0040-6090(75)90157-1 Zobrazit plný text záznamu