Improvement of the AES detection limit for phosphorus in silicon by principal component analysis or spline smoothing

Autor:	E.-H. Weber, M. Procop
Rok vydání:	1990
Předmět:	Detection limit Silicon Chemistry Mineralogy chemistry.chemical_element Surfaces and Interfaces General Chemistry Condensed Matter Physics Surfaces Coatings and Films Spline (mathematics) Spline smoothing Principal component analysis Materials Chemistry Smoothing
Zdroj:	Surface and Interface Analysis. 15:583-584
ISSN:	1096-9918 0142-2421
DOI:	10.1002/sia.740150912
Popis:	La limite de detection de la spectrometrie d'electrons Auger peut etre amelioree par des methodes mathematiques qui reduisent l'influence du bruit. Deux methodes sont comparees, l'analyse de la composante principale et le lissage de spline et appliquees a l'analyse des profiles de concentration en profondeur du phosphore dans le silicium
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d9684bf21ee970f0c24d4f36a8d59f44 https://doi.org/10.1002/sia.740150912 Zobrazit plný text záznamu Plný text